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濕式蝕刻過(guò)程的流程介紹

　　濕式蝕刻過(guò)程可分為三個(gè)步驟：
 
蝕刻
 
　　1)化學(xué)蝕刻液擴散至待蝕刻材料之表面；
 
　　2)蝕刻液與待蝕刻材料發(fā)生化學(xué)反應；
 
　　3)反應后之產(chǎn)物從蝕刻材料之表面擴散至溶液中，并隨溶液排出。

　　三個(gè)步驟中進(jìn)行最慢者為速率控制步驟，也就是說(shuō)該步驟的反應速率即為整個(gè)反應之速率。
 
　　大部份的蝕刻過(guò)程包含了一個(gè)或多個(gè)化學(xué)反應步驟，各種形態(tài)的反應都有可能發(fā)生，但常遇到的反應是將待蝕刻層表面先予以氧化，再將此氧化層溶解，并隨溶液排出，如此反復進(jìn)行以達到蝕刻的效果。如蝕刻硅、鋁時(shí)即是利用此種化學(xué)反應方式。

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