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稀有金屬蝕刻加工能開(kāi)多小的孔徑?

  今天我就我所了解的稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的孔徑知識和大家探討一下稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的問(wèn)題。
 
  我們需要了解稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的原理:稀有金屬蝕刻就是先在基板上用絲印或網(wǎng)印的方式把基板上需要保護的部位遮?。ㄒ簿褪遣恍枰_(kāi)孔的位置遮住,需要開(kāi)孔的位置露出來(lái)),然后用化學(xué)或電化學(xué)方式侵蝕掉需要開(kāi)孔的的部位,較后退去不需要開(kāi)孔區域的保護膜,這樣一件稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的工件產(chǎn)品就完成了。
 
蝕刻
 
  稀有金屬蝕刻加工工藝的較小開(kāi)孔跟材料厚度相關(guān),而且和菲林制圖也有緊密的關(guān)系,首先光繪機可以制作出來(lái)的菲林較小的孔徑目前國內是0.04mm,較小的縫寬也是0.04mm,那么菲林的制作就限制了稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的大小,0.04mm孔徑的菲林理論上是可以開(kāi)0.05mm的小孔,依次類(lèi)推的原理,稀有金屬蝕刻開(kāi)孔孔徑首先要大于菲林設計的孔徑,稀有金屬蝕刻孔徑需要大于菲林制圖孔徑的1.2倍。前二、需要稀有金屬蝕刻工件的材料厚度是稀有金屬蝕刻較小開(kāi)孔孔徑的較大限制,在正常開(kāi)垂直孔的情況下,稀有金屬蝕刻開(kāi)孔要求開(kāi)孔孔徑是材料厚度的1.2倍以上,較低是1:1(這是較佳匹配數據),如果是開(kāi)喇叭孔(也就是錐形孔),在這種情況下,需要開(kāi)孔工件的材料厚度可以是開(kāi)孔孔徑的2倍。
 
  按照這兩種情況的介紹,稀有金屬蝕刻較小能開(kāi)多大的孔?這個(gè)問(wèn)題也就解決了,首先根據菲林制圖和目前圖形轉移的技術(shù),稀有金屬蝕刻較小理論能開(kāi)0.05mm的孔徑(只限于少量的孔,因為孔太多太密的話(huà),開(kāi)孔效果就不理想了,因為圖形轉移中的顯影做不到如此細小的圖形)。其次根據材料的厚度來(lái)回答稀有金屬蝕刻較小能開(kāi)多大的孔?以0.2mm厚度的稀有金屬蝕刻材料為例:稀有金屬蝕刻開(kāi)垂直孔,較小可以開(kāi)0.2mm的孔徑,如果是開(kāi)喇叭孔(即錐形孔),較小可以開(kāi)0.1mm的孔。
 
  按此原理依次理類(lèi)推,如果是小于這個(gè)原理的開(kāi)孔孔徑稀有金屬蝕刻就做不到了,此時(shí)由于化學(xué)稀有金屬蝕刻的藥劑的擴張性無(wú)法滿(mǎn)足稀有金屬蝕刻量,孔就無(wú)法被蝕穿,所以此時(shí)就不適用稀有金屬蝕刻工藝來(lái)開(kāi)孔了。

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